學霸的軍工科研系統 第1170章

　　說到這裏他稍作停頓，讓欒文傑有些緩衝的時間。

　　之後，又擲地有聲地強調：

　　“這意味着，一旦設備交付，華芯國際能夠在最短時間內完成產線切換和產能爬坡，無需漫長的調試和適應期，供應鏈的每一個環節，從材料、設計到製造，都牢牢掌握在我們自己手中，穩定、安全、可控！”

第1621章 現在和未來，都是我們的

　　或許是爲了給這番論述一個直觀的註腳，張汝寧走到測試平臺旁，小心翼翼地從特製載物架上取下一片晶圓，交到欒文傑手中。

　　經過特殊處理的硅片表面光滑如鏡，肉眼看去並無特殊之處。

　　但旁邊的顯示屏隨之亮起，清晰地呈現出一個由無數細微線條構成的、邊緣銳利無比的字母。

　　“F”。

　　“受限於這裏的條件，我們沒有完整的晶圓臺和光刻膠處理線，無法製造出包含複雜電路的完整芯片。”張汝寧指着屏幕解釋道，“但是，您看到的這個字母‘F’，其每一筆劃的線寬，都是嚴格按照30nm的特徵尺寸設計並光刻出來的。”

　　他伸手輕輕點在屏幕上那個清晰銳利的“F”上，加重語氣：

　　“30nm，已經超過了TSMC當前7nm工藝所能達到的實際精度。”

　　欒文傑雙手捧着那片小小的晶圓，如同捧着一塊稀世珍寶。

　　儘管根本不可能分辨出30nm的細微線條，但他依舊看得無比專注——

　　這手掌上的方寸之間，蘊含着足以撼動全球半導體、乃至全球科技格局的力量。

　　沉默，持續了足有一分鐘。

　　終於，欒文傑長長地、極其緩慢地籲出一口氣，動作輕柔地將晶圓交還給張汝寧。

　　似乎還帶着些許不捨。

　　“這塊晶圓，我們會做專門保存。”常浩南看出了對方的心思，出言道，“這是我們在半導體生產領域反超的起點，以後可以放進工建委的博物館裏。”

　　說起這個，他突然想起了那塊至今還放在地下倉庫裏面的B2碎片。

　　“算了。”欒文傑低聲感嘆，聲音透過面罩顯得有些沉悶，“這東西就算能展出，我們怕是也搶不過國博……”

　　一個玩笑，讓現場的氣氛輕鬆了不少。

　　但很快，他又話鋒一轉。

　　“我之前去華芯國際調研的時候，聽他們的技術專家提到過。”欒文傑提出了一個更長遠的問題，“在當前硅基CMOS工藝的物理框架下，製程的極限大概在5nm或者3nm附近，如果按照剛纔計算的107.22nm等效波長來推算……”

　　“是否意味着，未來我們這臺ArF-1800，也有可能通過技術優化，用於生產下一代，甚至下兩代的產品？這關係到我們戰略窗口期的長短！”

　　這個問題，張汝寧已經等待了很久。

　　“跟剛纔那張表上的情況一樣，業界宣傳的‘5nm’、‘3nm’這些節點名稱，仍然是製程迭代的代稱，跟實際的最小物理特徵尺寸並非嚴格的一一對應關係。”

　　他解釋道：

　　“所謂‘5nm’節點實際對應的特徵尺寸，業界預估會在25nm左右，至於‘3nm’，則可能對應到15-18nm區間。”

　　張汝寧隔着面罩整理了一下護目鏡，繼續深入技術本質：

　　“對於25nm的特徵尺寸，ArF-1800仍然可以通過雙重曝光技術實現，就是良品率會比單次曝光生產30nm級別的產品時有所下降，工藝整合的複雜度也會提升，不過技術路徑是確定存在的。”

　　儘管隔着面罩，但腥诉�是能感覺到，欒文傑原本皺着的眉頭舒展開來。

　　而張汝寧語氣卻變得慎重起來：

　　“至於20nm以下級別的特徵尺寸，將是另一個維度的挑戰……實際上，隨着芯片製程逼近硅材料的物理極限，量子隧穿效應將變得無法忽視，晶體管將難以有效關斷，漏電流劇增，同時微觀層面的不確定性會急劇放大，導致器件性能的波動性大幅增加。”

　　“一般認爲這個臨界尺寸會在10nm左右，但考慮到衍射極限的存在，以及任何工業產品都不可能做到真正意義上的完美無缺，就算是使用EUV光刻機，要想穩定量產特徵尺寸在20nm以下的產品，也會非常非常困難，而且良率會不可控制的降低。”

　　隨後，他做了一個總結性的判斷：

　　“我個人認爲，隨着邊界效應的遞增，未來芯片性能提升的主要驅動力，將從過去單純依賴製程微縮，轉向更依賴於芯片架構創新、先進封裝技術、還有底層驅動軟件和算法的深度優化……”

　　張汝寧坦盏財偭藬偸郑�

　　“只不過，這後面幾項，就不是我們搞光學的人能專精的了。”

　　這番論述，讓欒文傑登時陷入沉默，面罩下的呼吸明顯變得粗重了幾分，白色的霧氣在護目鏡內側迅速凝結又消散。

　　半導體科技即將撞上當前理論天花板！

　　這對於單純追求技術進步的科學家而言或許令人沮喪，但對於此時此刻正面臨外部高壓、急需時間窗口來鞏固自身產業鏈的華夏來說，卻是個絕佳的良機。

　　“好！好！好！”

　　欒文傑連說了三個好字，聲音透過面罩帶着壓抑的激動，卻很好地控制住了情緒外露：

　　“常院士張研究員，還有各位奮戰在一線的同志們，你們的成果和這番分析，給了我，也給了決策層最急需的底氣和最清晰的方向！”

　　他用力地點了點頭，目光再次掃過平臺上那小巧卻蘊含巨大能量的物鏡模組，以及那片刻着“F”字的晶圓，彷彿要將這景象深深印入腦海……

　　……

　　大約一小時後，參觀結束。

　　一行人換掉密閉難受的防護服，重新回到外部空間。

　　“我回去之後，會以最快速度，將今天的所見所聞，特別是ArF-1800物鏡系統的實測性能數據、量產能力評估以及關於技術極限的戰略分析，形成一份詳實報告。”

　　解除了身上的束縛之後，欒文傑的語氣變得輕快起來：

　　“這份報告將作爲最核心的決策依據，直接呈送最高層，它將爲我們在即將到來的、更高層面的科技博弈中，提供最堅實的支撐和最有力的反擊武器！”

　　說完，他不再耽擱對常浩南示意了一下，便轉身帶着隨行人員準備離開。

　　然而，常浩南的聲音卻又一次從身後傳來：

　　“欒主任，請留步。”

　　欒文傑腳步一頓，疑惑地回頭。

　　常浩南已走到他身邊，臉上帶着一種古怪的笑意，目光投向無塵室側壁另一扇不起眼的門：

　　“時間還早，既然來都來了，那麼隔壁還有一點‘小東西’，或許也值得花幾分鐘看一眼……不會耽誤太多時間。”

　　欒文傑現在滿腦子都是那份即將出爐的報告，但對方的神情和語氣勾起了他強烈的好奇心。

　　除了之前那瓶維生素B以外，這位總顧問口中的“小東西”，都相當不簡單。

　　“好！”他果斷點頭“既然你都說值得看，那必然值得。走！”

　　兩人在警衛陪同下，很快通過連接通道，進入了隔壁的另一個實驗室。

　　這裏的氛圍與剛纔的超淨光學室截然不同。

　　沒有厚重的無塵服要求，只需在門口戴上防護眼鏡即可。

　　室內光線明亮，但顯得有些空曠冷清，遠不如剛纔那邊人頭攢動。

　　只有慄亞波一人，正全神貫注地俯身在一座相對小巧的光學平臺前，小心翼翼地調整着幾個精密調整架上的旋鈕。

　　他顯然注意到了來者，只是手邊的工作一時間放不下。

　　直到這時，欒文傑纔想起來，剛纔確實一直都沒看見這位常浩南的得意門生。

　　平臺的主體是一個穩固的光學麪包板，上面架設着激光器、光束擴束準直器、幾個裝有特殊透鏡的調整架、一個黑色的圓柱形遮光罩，以及遠處一個帶有精密位移臺的成像屏。

　　整個裝置透着一股……豪華的樸素感。

第1622章 突破阿貝極限！

　　“常院士，這是……？”欒文傑環顧四周，有些不解。

　　相比旁邊關乎國家半導體命脈的光刻機測試，這裏的設備顯得過於“普通”了。

　　“一項純光學的……原理性驗證實驗。”常浩南言簡意賅，目光落在慄亞波身上，“我們準備了快半年，最近才真正具備了測試條件。”

　　“純光學？驗證什麼？”欒文傑心中的疑惑更甚。

　　“很快您就知道了。”常浩南依舊賣了個關子，示意欒文傑耐心觀看，目光也投向了慄亞波的操作。

　　只見慄亞波最後確認了一下所有光學元件的共軸性，然後極其小心地將一塊巴掌大小、表面佈滿極其細微黑白條紋的金屬板插入一個特製的靶標架中，並微調了一下位置和角度。

　　接着走到控制電腦前，手指在鍵盤上快速敲擊了幾下。

　　嗡……

　　一聲輕微的啓動聲，位於平臺一端的光源被點亮。

　　霎時，一束鮮豔奪目的紅色激光束激射而出，經過擴束準直後變成一道直徑大約幾個毫米的平行紅光，射入中間黑色的遮光罩內。

　　而當光線從另一端射出時，已經略帶上了一絲難以察覺的模糊感。

　　最終，這束光線投射在數米開外的精密成像屏上，形成一個邊界柔和的光斑。

　　“紅光？”欒文傑有些驚愕地低呼出聲，“還是可見光？”

　　在他的認知裏，要突破極限，理應使用波長更短的紫外光甚至極紫外光纔對。

　　常浩南似乎早料到他有此一問，平靜地解釋道：

　　“我們要測試的，是一個理論上‘不可能’被傳統透鏡實現的結果……如果使用波長太短的光，那麼……對測試系統本身的精度和噪聲要求會很高，甚至大概率無法測出有效結果。”

　　他這邊話音剛落，一直緊盯電腦屏幕的慄亞波已經抬起頭：

　　“找到了。”

　　從他的臉上看不出太多情緒，但聲音有些發顫：

　　“成像清晰！我找到靶標的成像結果了！”

　　“快！”

　　常浩南立刻上前幾步，接替慄亞波坐到了顯示器前面。

　　欒文傑也按捺不住好奇，迅速湊到旁邊。

　　屏幕上顯示的並非什麼複雜的電路，而是一系列明暗相間、等寬等距的豎條紋圖案。

　　條紋邊緣銳利，對比度極高。

　　他快速搜索了一下腦海中的知識，並沒有想起來符合當前場景的答案。

　　但看着面前師生二人的這副架勢，已經能冥冥中感覺到，眼前這東西恐怕不太尋常。

　　好在，常浩南並沒有讓對方的疑惑持續太久。

　　“這是分辨率測試靶標的一部分。”他指着屏幕上的豎條紋解釋道，“根據光學成像的瑞利判據，使用波長λ=632.8nm的可見紅光時，一個傳統透鏡的理論分辨率極限δ大約是0.61λ/ NA……換算到我們這個系統裏，大概是在316nm左右。”

　　他指着屏幕上最清晰的那組條紋旁邊標註的一組編號：

　　“您看這裏，第10組第5元素，它對應的線對寬度是308nm……也就是說，對於一塊正常意義上的透鏡而言，在632.8nm波長下，不應該看清楚靶標上第10組第5元素以下的圖案。”

　　常浩南說到這裏，刻意停頓了一下：

　　“但是……”

　　他沒有繼續說下去，而是移動鼠標，在屏幕上快速搜索着。

　　很快，光標停留在屏幕靠左側的一個區域。那裏清晰地呈現出一個由三條豎直亮線組成的圖案，亮線之間是等寬的黑線。

　　這個圖案在屏幕上的標註正是“Group 10， Element 5”！

　　“嗯？”

　　欒文傑失聲驚呼，身體不由自主地前傾，幾乎要貼到屏幕上。

　　瑞利判據是物理學基礎，他剛纔已經聽明白了這個測試的意思。

　　308nm，已經超過，至少是貼近了632.8nm波長所對應的分辨率極限

　　然而，眼前的三條亮線是如此清晰銳利，邊緣平滑，沒有一絲一毫的模糊或彌散感。

　　根本不像是在逼近理論極限，反而像是在分辨一個遠大於極限的物體！

　　常浩南臉上依舊保持着那種掌控一切的平靜，沒有立刻解答欒文傑的震驚。

　　他只是再次移動鼠標控制着屏幕上的成像區域向下移動。

　　畫面切換，來到了標註爲“Group 10， Element 6”的區域。

　　這裏的線條圖案更加細密。

　　然而，圖形中的三條亮線依舊清晰可辨。

　　其銳利程度與9-5相比，幾乎沒有肉眼可見的衰減！