學霸的軍工科研系統 第1157章

作者:十月廿二

  “……”

  ……

  在整個上午的會議環節中,常浩南始終安靜地坐在貴賓席一個不太起眼的位置。

  他沒有發言,沒有提問,甚至連表情都很少變化,只是專注地聽着每一位演講者的發言,偶爾在面前的筆記本上記錄幾筆,像一個冷靜的觀察者,又像一塊深藏不露的磁石。

  即使沉默,也隱隱吸引着一些知情者的目光。他的存在本身,就是一種無聲的信號。

  上午的會議結束,人羣開始散場。

  常浩南沒有立刻離開而是起身,徑直走向了正被幾位同行圍住交流的吳明翰院士。

  “吳院士,您好。”常浩南伸出手,語氣平和而尊重。

  吳明翰連忙結束與旁人的談話,轉過身,雙手握住常浩南的手:“常院士!您好您好!沒想到您也來參會了,剛纔的議題……”他以爲常浩南是來討論大會內容。

  常浩南微微一笑,開門見山,卻又繞開了剛纔大會的焦點:“吳院士,這次來,是想了解下華芯國際在更成熟製程方面的能力。”

  這個說法實在有點太模棱兩可,吳明翰用筆帽蹭了蹭頭髮:“具體是指……哪方面?”

  會場內人多眼雜,再者慄亞波那邊的試驗也還沒個結果,所以常浩南還不準備把自己的成果直接說出來。

  而是換了個角度。

  “我們火炬集團,連同火炬-C.B.法拉利公司,目前正在積極佈局智能製造和工業物聯網領域。”他提到了自己掌控的資源,“這一塊對芯片的需求量巨大,而且跟傳統的工控需求不同,這一塊對產品性能的要求不亞於消費端。”

  “不知道……華芯國際目前在48nm,以及更精細工藝節點的產能如何?是否能支撐大規模、高性價比的流片需求?”

  吳明翰作爲內行人,當然知道再怎麼高精尖的工控需求也不太可能跟消費端一樣,所以對方的提問大概率是醉翁之意不在酒。

  因此比較委婉地回答道:

  “常院士,智能製造和物聯網這塊,主要應該是48nm,或者更成熟的65nm、90nm節點,這些算是我們目前產能的主力,良率和穩定性經過多年打磨已經相當不錯,成本也有競爭力,但是……”

  他話鋒一轉,轉向另一個角度:

  “您說的‘更精細節點’,如果想通過NXT:1950i這樣的深紫外設備製造,那就要結合離軸照明、相移掩模、還有多重曝光這些技術,去強行實現比理論極限更高的分辨率……技術上,我們確實在攻關,也取得了一些成果。”

  常浩南也看出對方是會了意,於是追問:“量產能力和良率如何?”

  吳明翰搖搖頭,語氣變得沉重起來:“理論上,曝光次數每翻一倍,分辨率就能增加一倍,但實際問題非常大……”

  說到這裏他略略加快腳步,和常浩南來到一個稍僻靜的地方:

  “一方面,這些技術本身極其複雜,工藝整合還不完全成熟,任何一個環節的波動都會導致失敗。另一方面,多重曝光極大地增加了工藝步驟和套刻對準的次數,每一次對準都會引入微小的誤差,累積起來,會導致芯片上特徵尺寸的均勻性變差,關鍵尺寸偏差飆升……”

  “總體來說,雙重曝光可能可以實現比48nm更高的特徵尺寸,但良品率和成本都不太容易控制,產能也就不可能提上去,至於四重曝光……”

  吳明翰臉部肌肉抽動了一下:“理論性能幾乎可以對標EUV,不過大概率連一片產品都流不出來。”

  常浩南靜靜地聽着,臉上沒有任何驚訝或失望的表情,彷彿早已預料到這個答案。

  他對吳明翰描述的困境不置可否,既沒有追問細節,也沒有表達看法。只是在吳明翰說完後。

  只是沉默了幾秒鐘,然後提出了一個讓吳明翰更加意外,卻又隱隱覺得合情合理的請求:

  “吳院士,您說的我明白了。技術攻關的艱難,我深有體會。”他停頓了一下,“不知是否方便……我想近期親自去華芯國際的晶圓廠參觀一下……不需要特別安排,就看看你們最真實的生產線和工藝現狀。”

  實際上,這個要求提的有些冒失。

  華芯國際畢竟是個企業,常浩南手裏也有企業,雖說不構成直接競爭,但你開口就要去最核心的地方看看,總歸不太合適。

  但吳明翰心中卻念頭飛轉:常浩南院士突然對芯片製造產生了濃厚興趣?而且是成熟製程?還要實地看生產線?

  這絕對不僅僅是出於對智能製造芯片供應商的考察那麼簡單。

  聯想到火炬實驗室那些前沿研究成果……

  吳明翰的心臟不由得加速跳動了幾下。

  他隱隱感覺到,這次參觀如果成行,或許會帶來一些意想不到的轉機。

  “當然方便!”吳明翰冒着越俎代庖的風險應承下來,“我馬上聯繫人安排!您看什麼時候合適?我們全程配合!”

第1605章 還是要準備一下

  當吳明翰在餐廳門口找到周學時,後者正在和幾位產業夥伴低聲交談。

  他耐心等到談話告一段落,才上前幾步,壓低聲音,簡單說明了常浩南的參觀請求。

  周學臉上掠過一絲難以察覺的驚愕,隨即恢復常態。

  他示意吳明翰稍等,轉身與幾位夥伴簡短致歉後,便帶着吳明翰走向一處更安靜的角落。

  “常院士要來看生產線?”周學確認道,語氣中帶着慎重。

  “是,就在未來幾天內,越快越好。”吳明翰點頭,“他強調了想看到‘最真實’的狀態,不是走馬觀花。”

  末了,又帶着一絲歉意補充:

  “情況太突然,常院士就在眼前問,所以我就直接應下來了。”

  吳明翰能在去年通過院士評選,華芯國際在裏面出了不小的力氣。

  所以該客氣的時候還是得客氣一下。

  “你答應得對。”

  周學幾乎不假思索地擺了擺手:

  “常院士在工建委體系內…分量很重。”他頓了頓,聲音壓低了幾分,“當年國防科工委改制重組,某種意義上就是圍繞着整合他和他所代表的前沿科技力量進行的……這樣一號人物沒誰得罪得起,他提要求,我們不可能拒絕。”

  隨後左右踱了兩步,又抬頭看向吳明翰:“只是,產線畢竟是核心中的核心,流程和安全規範不能破例……常院士明確隨行人員了嗎?”

  “聽他的意思,應該只有他自己……”吳明翰回憶道,“當然應該還包括必要的警衛之類,但總之規模不會大。”

  “嗯。”周學迅速拿出隨身的小本子記下,“另外,他有沒有透露什麼?比如,爲什麼突然對製造環節這麼感興趣?這似乎偏離了他一貫的研究領域。”

  吳明翰思索着:“他提到火炬集團和火炬-C.B.法拉利在佈局智能製造和工業物聯網,需要高規格芯片供應……但這肯定是個託詞。”

  周學並非專業技術人員,但從業多年總歸有點基本認知,也點點頭表示同意對方的判斷。

  “非要說的話……”吳明翰微微皺眉,“可能是火炬實驗室在某種關鍵材料上取得了突破,而這種材料與我們半導體制造,特別是光刻環節,存在潛在關聯。”

  “材料?”周學筆鋒頓了一下,“如果真是這樣的話,你覺得對我們……會有什麼影響?”

  “這想象空間可太大了……”吳明翰撇了撇嘴“可能是光刻膠,可能是掩模版材料……但沒有具體信息,這些都是瞎猜。”

  周學若有所思地點點頭,合上本子:

  “明白了。你先回去,這事我來處理,儘快給你答覆。”

  送走吳明翰,周學看了眼餐廳的牌子,突然變得毫無胃口。

  他轉身快步,回到自己的酒店房間。

  關門、上鎖,打開筆記本電腦,一氣呵成。

  很快,便發起了一場臨時的核心層視頻會議。

  屏幕上,董事長徐志堅、CEO趙俊華以及另外兩名關鍵董事的頭像陸續亮起。

  還有兩位在出差途中,實在無法參會。

  好在人數已經過了決策所需的三分之二門檻,而且關鍵角色都在。

  周學直切主題。

  “……工建委總顧問、航空動力集團的常浩南院士,剛剛通過吳明翰院士提出,希望近期參觀我們津門基地的生產線……”

  他用儘可能快的速度,把剛纔吳明翰彙報的內容重複了一遍:

  “吳院士已經代表公司口頭同意,並表示常院士希望看到最真實的生產狀況,而非表演,考慮到常院士的身份特殊,且要求突然,我需提請各位緊急審議。”

  說到這裏,他目光掃過屏幕,突然意識到有一位董事是新加坡籍,未必非常瞭解國內的人事情況。

  於是又專門強調道:“常浩南院士的身份和影響力很足,某種程度上,甚至可以代表工建委框架內的科技意志和戰略資源,他主動要求深入我們的核心製造區域,這個信號本身,非同小可。”

  視頻那頭一陣短暫的沉默。

  董事長徐志堅率先開口,聲音沉穩有力:“常院士的名字就是份量。他親自點名下產線,這本身就是一種重視,甚至是某種信號。我原則上同意全力接待,開放所有必要區域。周董,你做得對。”

  隨後又看向其他董事,“各位意見?”

  “同意。”

  “附議。”

  另外幾人迅速表態。

  在這件事情上,任何正常人都不會做出不同的選擇,自然沒什麼分歧。

  但很快,CEO趙俊華就蹙起眉頭,用審慎的語氣說道:“開放所有區域沒有問題,但狀態……是否包括我們正在攻堅的多重曝光實驗區?”

  “我的意思是,那裏良率極低,報廢晶圓堆積,設備調試的窘迫和失敗案例比比皆是……”

  他話語未盡,但擔憂顯而易見——

  擔心影響公司形象,乃至影響未來的資源傾斜。

  周學立刻接話:“趙總,我認爲現在不是顧慮‘形象’的時候。”

  一名董事也表示贊同:

  “我們華芯國際在IC代工領域的主要對手不在國內……至少不在大陸,所以常院士此行的目的,恐怕也不是要來給我們打分評級,如果遮遮掩掩,反而可能錯失某些關鍵契機……”

  “……”

  二人的意思很明確:

  華芯國際如今屬於業內龍頭,即便在國際範圍內也只有三星、臺積電、英特爾、聯電半導體等少數競爭對手。

  所以,無論常浩南最終帶來的是信息、資源,還是某種顛覆性的技術路徑,他們都必然是最直接的受益者和合作者,不用擔心什麼形象問題。

  實際對方也沒得選。

  趙俊華本來也並非特別堅定,之前的顧慮更多是出於職業本能。

  聽過這番分析後,眉頭也漸漸舒展開來:

  “那麼……這方面我也沒有意見。”

  “好!”徐志堅點點頭,“那我提議就由老周具體負責,立刻協調津門基地,全力準備接待常院士。”

  雖然說是提議,但這種本來已經達成一致的事情,董事長的提議基本就是決定。

  因此,所有人都點頭表示同意。

  謹記着,徐志堅又繼續給出了更細節的指示:

  “要求:第一,安全規範嚴格執行;第二,參觀路線精心規劃,既要展示我們成熟的量產能力和技術儲備,也絕不迴避當前的任何瓶頸;第三,組織最強的技術團隊隨行,隨時準備解答常院士可能提出的任何深度技術問題,我來負責現場,吳院士全程技術陪同……”

  周學突然打斷:“常院士的意思是,不要過於興師動校蓞⒂^地進行組織即可。”

  徐志堅一愣,然後笑了笑,從善如流:“那我和老趙就不出面了,讓津門基地的黃煒負責現場……”

  “……”

  決議迅速得到全體確認。

  華芯國際這艘巨輪,因常浩南一個意外的參觀請求,開始緩緩調整航向。

第1606章 多重曝光

  三天後,未來信息產業大會圓滿落幕。

  常浩南婉拒了後續的交流活動,在周學和兩名便裝警衛的陪同下,乘坐一輛低調的中巴車,直奔華芯國際設置在津門海河新區的生產與研發基地。

  按照常浩南本人的要求,基地沒有設置盛大的歡迎儀式。

  只有負責人黃煒和提前一天回津的技術總監吳明翰,以及幾名核心技術人員安靜地等候。

  看到常浩南下車,爲首兩人立刻迎上前。

  簡短的寒暄後,常浩南一行人便在專人引導下,前往更衣區。

  晶圓製造對潔淨度的要求比手術室嚴格百倍,因此在進入核心區域之前,必須換上全套特製的無塵服,並經過嚴格的風淋除塵程序。

  踏出氣動閘門之後,空氣裏就只剩下特有的潔淨室氣味,以及微弱的機器嗡鳴。

  透過觀察窗,可以看到一批完成拋光和清洗、表面光潔如鏡的硅片,正被機械臂精準地送入沉積區,進行着薄膜生長。

  “常院士,這是我們最基礎的環節之一,硅片的製備和初始加工。”黃煒的聲音透過通訊系統傳來,“經過表面處理、清洗、沉積必要的鍍膜作業之後,晶圓纔會進入後面的光罩製作……也就是光刻環節。”