作者：千越南秋
正是關乎着國產半導體行業未來的極紫外光刻機。
很快。
身穿操作服的徐銘，和賀鵬濤以及丁順安兩位院士邁步走到光刻機旁邊。
“這是最新拿到的各項檢測數據，今天再進行最後的調試優化工作，我們的光刻機便能開展首次流片驗證。”
賀鵬濤暫時按耐着心中的激動情緒，邊說邊把手中的數據文件遞給身旁的徐銘。
想到這麼多天的努力，總算能夠看到結果，饒是儘可能的保持鎮定，手指依舊無法避免的因興奮微微顫動。
第244章 流片數據出爐，光刻機主體成功
寬敞明亮的機房內，首臺逐光極紫外光刻機，被放置在中心位置，是全場毫無疑問的焦點。前方牆上的大屏幕處，最上面掛着個紅色橫幅。
寫有一行標語。
“預祝全系統首次鏈路功能驗證流片圓滿成功”
而現場除總設計徐銘，賀鵬濤與丁順安兩位院士，和微電子裝備項目科研人員外，還包括華天科技公司，科技部領導以及多位院士專家。今天全部聚集在這裏，只爲共同見證國家高端芯片製造的崛起。
其中很多人，都是項目某環節參與者。
最終的結果如何，對他們來說，稱得上是與有榮焉。
心中都憋着一口氣。
但像科學院院長餘高遠，則完全把自己，放在觀械南簧希救瘫３殖聊苌賲⑴c發言。
把本次驗證的主導權，悉數交給總設計師徐銘。
僅在心中希冀驗證圓滿成功。
當視線重新回到徐銘身上，他已經伸手接過，賀院遞過來的‘逐光’最新檢測數據，隨即垂下目光神情認真的仔細查看。
從海外新思公司，與阿斯麥半導體設備，共同發出公告，宣佈將在明年正式推出，全新的極紫外光刻機和配套EDA算法工具，到現在已過去三個多月時間。
然論他們如何都不會想到，在這短短三個多月內，首臺逐光極紫外光刻機，已完成組裝。
將採用全新技術的核心光源系統，和工作件物鏡系統等零部件整合。
這幾天在差不多二十四小時，不停地調試優化下，基本滿足實際流片驗證標準。
在如此情況下，由國家芯片製造產業專項領導小組表決，定下今天開展首次全系統鏈路功能驗證流片實驗。
“沒問題。”徐銘重新把數據文件遞還過去說。
賀鵬濤接下笑着說：“大家等這一天可是很久了，眼下終於要變成現實。”他講完不知是想到了什麼，臉上顯露出來的情緒，相比剛纔多出幾分傷感。
早在十年前。
國家發佈中長期科學和技術發展規劃綱要，把極大規模集成電路製造技術及成套工藝，排在16個國家重大科技專項首位，真正重視起芯片製造技術，並給與持續和鉅額的經費支持。
他便被任命爲項目主要負責人，紮根光機所研發國產光刻機。
儘管數年來取得一定成果，但距離海外阿斯麥公司，仍面臨着巨大技術層面差距。
當時行業主流觀點是，未來二十年時間，很有可能都無法實現追趕。
從某種程度上講，比戰鬥機更加複雜棘手。
對任何一位光機所人來說，看到國產光刻機崛起，實現自主高端芯片製造，是大家最真摯質樸的夢想。
他賀鵬濤自然也不例外。
而如今因爲徐銘，這個尚不到三十歲的青年才俊，國家的極大規模集成製造技術，迎來飛速突破進展。
以往的夢想得以實現，且親眼目睹。
情緒難免會有所宣泄。
這是人之常情。
“你就放心吧老賀，咱們的逐光肯定能經受檢驗。”丁順安聞言，及時接過話茬，成功轉移賀鵬濤的注意力。
作爲逐光系列光刻機的研發人員，就相當於是把孩子養大的父母。
自家孩子究竟是個什麼水準，基本是心知肚明。
流片驗證雖尚未開始，但最終結果如何，多少會有一個預期數值。
徐銘依舊保持着冷靜的思維，將賀鵬濤和丁順安兩位的交流，悉數聽進耳中，雖想說些寬慰的話，給他們喫上一顆定心丸，但嘴脣微動下，還是把話給嚥了回去。
逐光極紫外光刻機，和璇璣系統EDA算法工具，他自然是胸有成竹信心滿滿。
但要知道一件事，流片驗證的數據，可不單靠這兩項左右，其中任何一個環節都能產生影響。
比如較爲關鍵的光刻膠。
原本他的打算，是想通過璇璣系統，反向設計適配的高端光刻膠，儘管這會延長流片驗證的日子，卻可以保證良品率。
剛好科學院化學研究所，在國產光刻膠的研究上，取得了新突破。
便索性提前進行流片驗證。
畢竟站在上面的角度，留給國內的時間確實不多，必須盡最大努力，和阿斯麥同步推出極紫外光刻機，把行業可能會受到的衝擊損失，減低至最小範圍。
於是念頭停留在這裏，他方沉聲吐出一句話。
“開始工作吧，流片驗證的數據如何，很快我們就能知道。”
隨着話音落下，身旁的賀鵬濤和丁順安，也一改剛纔臉上的笑容，神情變得嚴肅認真。
點點頭前往各自的工作區域，指揮科研人員調試。
爲流片驗證做最後準備。
……
伴隨時間一分一秒流逝，機房現場的氛圍，因逐漸瀰漫的緊張感，變得有些窒息。
連餘高遠等場外人員，都彷彿要屏住呼吸。
生怕因爲自己發出的動靜，導致今天的流片驗證出現問題。
不知道過去多久，只聽站在操作檯前的潘耀，突然開口向徐銘進行彙報，總算暫時打破眼下的氛圍。
“報告徐總師，設備已調試完畢，隨時可以進行流片。”
說完。
負責優化璇璣系統的蘇振豪，同樣不再保持沉默，緊跟在潘耀的話後，也停下手上動作，轉過身報告工作進度。
“璇璣系統優化完成。”
聞言徐銘猛地從椅子上站起身。
目光先是依次在潘耀和蘇振豪身上掃過，然後看向賀鵬濤和丁順安，在短暫的眼神交流後，下秒便不再過多耽擱時間，立即下達了最重要的指令。
“開始吧。”
“是徐總設計師。”潘耀和蘇振豪幾乎同時回應。
緊接着所有科研人員，再次投入到緊張的工作狀態，神情保持着高度專注。
此次流片驗證採用的測試芯片，是一顆不包含複雜功能的專用測試芯片，其版圖由璇璣系統軟件生成。
包括分辨率測試圖案，套刻精度標誌，電性測試機構，和特殊監測圖形等。
不多時。
在超淨間外，徐銘和科研團隊，通過觀察窗，看着第一片硅片被送入珠光極紫外光刻機，整個氣氛莊重而充滿期待。
當全系統鏈路功能驗證流片流程開始啓動，嚴格按照璇璣輸出的工藝檔和珠光的標準參數執行，而這個過程也需要一定的時間，需在晶圓片完成製造後，進行光學量測和電子顯微鏡檢測。
或許是看到氛圍太過嚴肅，這個時候一直沒發言的餘高遠，終於捨得主動開口。
“真讓人驚心動魄啊，不知道有多久，沒經歷過這種心情了。”
說這句話時，故作輕鬆的語氣，和臉上堆出的微笑，爲大家的情緒增添一些不同的波動。
“大家的壓力確實不小。”賀鵬濤點點頭附和句。
前腳話音剛落，身旁科學院化學研究所的周啓深院士，也接過話茬道：“國家有徐總師這樣的天才，我相信逐光極紫外光刻機，肯定能光刻出良好的各層圖案。”
他比賀鵬濤和丁順安小上幾歲，在光酸劑與樹脂等分子設計，以及合成與作用機理等研究領域，位於國內領先地位。
對國家化學材料的發展，做出過重要貢獻。
此次整合國內資源，成立國家集成電路製造研發創新中心，他所在化學研究所，也被納入整合範圍。
負責國產高端光刻膠的研發工作。
其中值得一提的是，徐銘擅長數學物理甚至信息學科，憑藉自身實力和天賦，帶領光刻機和芯片設計軟件，快速實現技術迭代。
以至於經常能在網上看到，又有新的進展新聞。
這對他們光刻膠項目組團隊來講，無疑有着巨大的壓力。
只能依靠自身。
盡最大努力，保證國產高端光刻膠的研發，做到不拖其他項目部門的後腿。
畢竟大家所在工作屬於一個整體，任何人掉隊都不行。
幸好他們的邭膺�算不錯，在首臺逐光極紫外光刻機組裝完前夕，成功合成一種效果更好的光刻膠。
遠超過當前國內的光刻膠水平。
而正當他思維快速咿D，腦海中一直想着流片結果時，耳旁突然響起徐銘的熟悉聲音。
“我們要看的，不是能不能做出圖形，而是現實與預測的偏差，究竟有多少原子。”徐銘看向周啓深院士，神情很是認真的接話，他對流片數據的要求，遠比現場人要高。
如果說其他人的目標，是芯片製造技術，追趕上阿斯麥設備的產品。
那麼他則是要超過。
況且在付出這麼多努力和心血後，想達成這一點，也並非是什麼不可能做到的事。
餘高遠對徐銘的瞭解，無疑要比現場任何人都深。
他在聽到這句話，當即應和道：“有你的這句話，我對流片結果可是更加期待了，看來又要給我驚喜。”
腥酥g的交流並未持續多久，很快就又被流片過程吸引。
目睹百分之百國產化，正在咝械闹鸸鈽O紫外光刻機，團隊士氣越發高昂。
由於整個流片過程，包括光刻和刻蝕，以及沉積等數十道工序，且被嚴密監控，因此往往要歷時數週時間才能結束。
面對這種情況，大家毅然留在微電子裝備。
都想第一時間看到流片數據，也好見證國內芯片製造歷時上，真正里程碑時刻。
……
很快來到月底。
高考結束分數陸續出爐，準大學生開始填寫志願，選擇自己心儀的高校專業。
如果這時候去參加，各地舉行的招生活動，則會發現燕大所在展臺位置，基本上一個學生和家長都沒有，但偏偏被旁邊的箐華等，學校招生老師羨慕的不行。
沒辦法。
正所謂樹的影，人的名。
在徐銘這張金字招牌下，燕大已然成爲，全國最頂尖的高校。
徹底把箐華甩在後面。
甚至放眼國際，燕大也的地位排名，也在以肉眼可見的速度，每年持續上漲。
特別是有着‘瘋人院’美稱的數院。
有這些因素在，能夠上燕大的學生，根本不會糾結猶豫。
自然用不着參加這種活動。
放前幾年的時候，徐銘偶爾還會幫忙爲學校招生宣傳，畢竟在他那一大堆頭銜中，最開始的可是燕大數院教授。
不過今年肯定是沒有這個時間。
6月27日，週二，微電子裝備集團總部。
今天光學測量實驗室內，要比以往任何時候都要熱鬧，尤其人員上更是打破記錄。
因爲在外面房間內，愣是聚集了大十幾個身影。
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