作者：千越南秋
只見從多個激光設備中，同時發射出一束高強度且高重複頻率的近紅外激光，在照射到高速旋轉的光源靶盤上後，激光在每一個點上瞬間激發耦合態。
輻射出穩定的極紫外光。
與此同時。
賀鵬濤和丁順安兩位院士，也難以繼續保持平靜，面部表情上隱隱浮現出激動之色。
目光牢牢緊盯着，屏幕中實時反饋的數值。
甚至下意識念出聲來。
“輻射出的光源波長，依舊爲13.5納米，屬於極紫外光波段。”
“輸出光源穩定在80瓦……”
“120瓦……”
“200瓦……”
……
“250瓦，我們驗證成功了！”
隨着期望的數字終於出現，在聲音落下瞬間，制室內頓時爆發出熱烈的掌聲，慶祝這一里程碑式重要時刻。
“我早就說過，徐總師的方案沒問題。”賀鵬濤待大家的掌聲落下，抬手輕擦了下溼潤的眼角，毫不掩飾堆在臉上的喜悅之情。
旁邊的丁順安，同樣內心激動不已。
視線依舊鎖定在那臺毫米級演示裝置上，心情複雜連連感慨。
“從我國開始重點研究光刻機，到現在多少年了，總算實現了可商用的，足以領先世界的核心光源系統，我這輩子沒啥遺憾嘍。”
“才只是成功驗證了核心光源系統，你就沒遺憾了，起碼也要看到咱們的極紫外光刻機問世。”賀鵬濤笑着接過話茬，跟在丁順安後面補充了兩句。
丁順安附和道：“有徐總師在，這是遲早的事。”
說完兩人轉頭看向徐銘。
“徐總師，請允許我代表所有光機所人員，由衷向你表示感謝。”賀鵬濤最先開口道：“沒有你的物理理論，我們根本不可能這麼快，便攻克穩定功率的極紫外光源。”
“僅這一項理論成果，就起碼讓咱們少走了幾年，甚至十幾年的彎路。”丁順安也沒沉默。
面對兩位院士的如此稱讚，徐銘反應更快，連忙出聲回應。
“兩位院士言重了，既然這個擔子交給我，那我自然會盡最大努力做好。”
“何況後面還有更重要的工作，需要我們大家完成。”
把熱烈氛圍推向高峯。
——
接下來的時間，實驗室交給了潘耀負責。
繼續進行光源實驗，好記錄更加詳細的數據，用於之後極紫外光刻機核心光源系統的組裝。
徐銘則和賀鵬濤與丁順安兩位院士，來到辦公室安排後續工作。
“下一步我們微電子裝備，就會正式把新的極紫外光源技術，應用到光刻機的核心光源系統上，另外雙工件臺控制系統和計量檢測系統，也都在同步的攻堅中，這些年集團的研究可不是一點成果沒有。”
辦公室內丁順安首先發言，在講到最後一句時，能感受到話語中的自信。
春城光機所擅長光刻機的核心光源系統，微電子裝備卻是主攻其他部件技術。
尤其作爲國產光刻機主力研發團隊，肯定在部份領域也有着獨到之處，甚至並不落後海外技術多少。
如今最困難的極紫外光源被順利解決，就好比在兩截道路中間的大山中，打通了一條可通行的隧道，當車輛全速行駛起來，距離終點站又豈會遠。
賀鵬濤雖來自春城光機所，但對於微電子裝備方面的研究還是比較認可的。
尤其現在還進行了資源整合。
聞言也當即講出自己的看法和決心。
“眼下我們有了極紫外光源，並且還是比轟擊錫滴更加高效容易的技術，根據國內技術整體評估，我看最多兩年時間，就能成功組裝出首臺國產極紫外光刻機。”
“阿斯麥公司的新一代極紫外光刻機，恐怕也會在兩三年時間內發佈。”丁順安想到什麼接過話茬補充。
賀鵬濤笑呵呵回覆句。
“那就剛好比一比，看看誰的極紫外光刻機，綜合性能更加領先。”
徐銘聽完兩人的對話，嘴角也不由得微微上揚，對阿斯麥公司的光刻機，還真湧現出些許期待。
他也想看看，採用了全新物理現象理論，研發出的極紫外光刻機究竟能達到何種水準。
估摸着拿下阿斯麥在行業中的地位，恐怕不會太難。
思維思忖至此，他很快輕微搖了下頭，暫時把這件事拋在腦後，主動提起接下來的正事。
“後續極紫外光刻機的研發，就還拜託賀院和丁院來坐鎮負責了，如果遇到什麼技術瓶頸的話，隨時通知我參加研討會商議解決方案。”
“等璇璣系統的開發穩定後，我會多關注這邊的。”
目前全新隨機幾何分析框架的構建，正值最後的關鍵幾個證明步驟。
等完成此理論，便能正式着手開發新的算法。
在這種情況下，他肯定不能逗留在微電子裝備，今天下午就要趕回燕京繼續推導。
主要璇璣系統和光刻機，都是高端芯片製造產業鏈中的重要環節，只不過一個屬於前端一個屬於後端。
想實現百分之百國產化升級，就必須把璇璣系統和國產極紫外光刻機，同時研發出來纔行，否則單獨離開哪項都無法發揮出自身的作用。
無論賀鵬濤還是丁順安，他們自然都清楚，璇璣系統的重要性。
不過在聽完徐銘這番話之後，互相對視一眼，依舊能看出彼此瞳孔中的疑惑。
本以爲徐銘選擇把精力放在新一代EDA上，只是藉助總設計師的身份，好讓國內EDA公司更好整合技術，加快全新一代極紫外光EDA工具算法問世。
結果在璇璣系統項目發佈後，他們才意識到，徐銘不單單是負責人那麼簡單。
而是親自參與了璇璣系統的開發。
很難想象只是有着被燕大信院培養的經歷，如何能去完成複雜龐大的EDA軟件。
要說一點不擔憂，那絕對是假的。
畢竟這要是等國產極紫外光刻機問世，配套的璇璣系統卻遲遲無法完成，說不定反倒成了爲海外做嫁衣。
若當初徐銘轉到信息算法領域也就罷了，關鍵精力基本全在數學和物理學科上。
於是念頭在腦海中快速閃過下，賀鵬濤院士實在沒忍住心裏的好奇，主動開口向徐銘確認了一句。
“徐總師。”
“你真的在參與璇璣系統的開發工作？”
說着便把目光牢牢鎖定在徐銘身上，迫不及待等待徐銘的回答。
就連旁邊的丁順安也是同樣動作。
徐銘看到兩人表現，自然猜到他們在擔心什麼，不過話到嘴邊卻只是點頭承認下來。
其餘並未過多解釋。
“沒錯。”
他暫時賣了關子，緊隨其後又笑着補充。
“你們可要多加油纔行，否則璇璣系統到時候，可會比國產極紫外光刻機先發布。”
不多時。
當一些工作安排交接完成，徐銘便不再繼續逗留，很快離開動身返回燕京。
大家在戀戀不捨的，目送徐銘身影，從自己視野中消失之後，賀鵬濤和丁順安選擇短暫留在原地，回想起剛纔辦公室裏的話開口交流。
“老賀，你說徐總師，能開發出璇璣系統嗎？”
“徐銘的天賦你又不是不知道，既然他有這個把握和底氣參與，說不定真會在信息算法領域也做出貢獻。”
“眼下咱們的當務之急，是要儘快組裝出，首臺國產極紫外光刻機，我可不想被燕京那邊領先。”賀鵬濤笑着丟下這句話便轉身離開不再言語。
只有丁順安不知想到了什麼，望着徐銘離開的方向低聲感嘆一句。
“若是在信息算法領域也這麼強，那可就太恐怖了。”
……
針對250瓦穩定極紫外光源的驗證成功，微電子裝備這邊依舊沒有選擇隱瞞，在第二天的上午便通過專門註冊的官方賬號進行宣佈。
同時還面向全網，徵集國產極紫外光刻機的名字。
距離公佈璇璣系統項目，纔過去兩個月左右，在極紫外光源上又取得了重大突破。
對網友們來說，無疑是最大的驚喜。
越發相信國產極紫外光刻機，用不了多久，就會面向國際舞臺發佈。
情緒高漲激烈之下，大家踊躍參與名字徵集，最終經各方面綜合考量，將百分之百國產的，首臺極紫外光刻機命名爲‘逐光’系列。
而隨着璇璣系統和逐光的先後公佈，海外主流媒體也終於有些意識到不對勁。
無法想象號稱人類文明科技結晶的光刻機，其核心光源系統爲何如此簡單，前後不過幾個月的時間便被攻克。
這種進展速度，不由得讓人聯想到，當初突然首飛並在極短時間內服役的殲20戰鬥機。
不過類似的擔憂僅出現一瞬，便被清理出去。
最終在一些媒體的報道，和行業人士的評價下，稱華方的極紫外光源不等同於傳統的極紫外光。
其光刻效果也相差極大。
表示就算掌握這樣的穩定光源，研發出的光刻機也無法保證芯片的光刻效果。
仍舊和阿斯麥的產品有着很大差距。
根本不需要擔心。
然而這回國內，無論官方還是網友們，都對海外媒體的自娛自樂懶得去搭理。
反正究竟誰是小丑，等雙方的光刻機亮出來，自然是清清楚楚。
至於備受關注和討論的徐銘，就更加不會被外界的環境所影響，他從微電子裝備回到燕大數院，便直接把自己關在辦公室屋子裏，完全沉浸到新隨機幾何分析框架的構建證明中。
伴隨着時間一分一秒流逝，步驟愈發完善同時，也再次獲得新的學科經驗值。
本來正常情況下，憑藉他如今的數學學科等級，想獲得經驗值不是一件很容易的事，就算去處理較難的問題也會非常有限。
尤其涉及到擅長的數論和代數幾何等分支。
但眼下構建的新理論體系，卻屬於隨機幾何，嚴格意義上來講的話，其工作實質相當於是將，微分幾何和隨機分析在非平凡層面進行了深度融合。
轉眼將近半個月過去。
徐銘的證明工作，也順利來到尾聲。
“接下來需要在流形上，定義全新的隨機場論，並對隨機幾何的平均場宏觀觀測。”
這天理教樓辦公室，徐銘站在幾塊寫字板前，大腦飛速咿D使思維碰撞激發出靈感。
口中自顧自低喃的同時，手上動作則越來越快，在指尖不斷湧現出複雜，但嚴謹符合數學邏輯的公式和符號。
“在流形(M， g)上，定義一個隨機標量場Φ(x)。”
“這個場代表‘有效反應完成度’。”
……
“場的演化由一個新型的隨機偏微分方程描述……”
“導出宏觀粗糙度 R(q)，與底層流形曲率功率譜之間的解析映射關係。”
……
“由上可得在一定的標度極限下，無限多個隨機微流形的統計效應，可以等價於一個有效平均流形，上的一個確定性但具有分數階導數的反常擴散方程。”
當結論的最後一個字寫完，徐銘停下手上動作，原本認真嚴肅的神情，逐漸浮現出一抹欣喜笑容。
“這些天的努力總算沒有白費，終於搞定了。”
從正式提出璇璣系統，到今天十二月底，總算成功證明了構建的隨機幾何分析框架理論。
也就是說藉助他的這項理論，待完成開發出超導求解算法後，工程師只需測量或模擬宏觀的粗糙度，就可以反向去推斷出光刻膠的幾何隨機性缺陷，反之也可以通過調整化學配方，來直接預測宏觀線條的質量。
這種效率和作用，遠不是海外的主流算法可以相比。
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